Lithography Resolution Calculator
Ilagay ang optical parameter at process factor para kalkulahin ang R = k1·λ/(NA·n) at DOF = k2·λ·n/NA². Simpleng pagtatantiya ito, hindi garantiya ng manufacturing feasibility.
Paano gamitin
Paano gamitin
- Ilagay ang wavelength, numerical aperture, refractive index, at process factor na k1 at k2.
- Kalkulahin ang tinatayang resolution at depth of focus.
- Gamitin ang formula bilang educational estimate lamang at i-validate nang hiwalay ang tunay na proseso.
Mga formula
Resolution R = k1·λ/(NA·n). Depth of focus DOF = k2·λ·n/NA². Parehong length unit ang gamitin sa wavelength at resulta.
Input ang process factor
Ang k1 at k2 ay process factor na ibinibigay ng user. Depende ang mga ito sa proseso at palagay; hindi ito pinipili o bina-validate ng calculator.
Saklaw at limitasyon
Simpleng arithmetic estimate ito, hindi garantiya ng manufacturing feasibility. Hindi nito mino-modelo ang buong scanner, resist, mask, illumination, focus control, overlay, defect, yield, o safety process.
Mga madalas itanong
Maaari mo ring alamin
Ano ang k1 at k2?
Mga process factor ito na ibinibigay ng user para sa dalawang formula. Gamitin ang sarili mong dokumentadong palagay o process model.
Mapapatunayan ba nitong gagana ang proseso?
Hindi. Simpleng estimate ito at hindi garantiya ng manufacturing feasibility.