リソグラフィ解像度計算機
光学パラメータとプロセス係数を入力し、R = k1·λ/(NA·n) と DOF = k2·λ·n/NA² を計算します。製造可能性の保証ではありません。
使い方
使い方
- 波長、開口数、屈折率、プロセス係数 k1 と k2 を入力します。
- 推定解像度と焦点深度を計算します。
- 式による教育用推定として扱い、実工程は別途検証してください。
式
解像度 R = k1·λ/(NA·n)。焦点深度 DOF = k2·λ·n/NA²。波長と結果は同じ長さ単位を使います。
プロセス係数は入力値
k1 と k2 はユーザー指定の係数です。値は工程と仮定に依存し、この計算機が選択・検証するものではありません。
範囲と制限
簡略な算術推定であり、製造可能性を保証しません。露光装置、レジスト、マスク、照明、フォーカス制御、重ね合わせ、欠陥、歩留まり、安全工程全体は扱いません。
よくある質問
あわせて知りたいこと
k1 と k2 とは何ですか？
2つの式に使うユーザー指定のプロセス係数です。文書化した仮定や工程モデルに基づいて入力してください。
工程が実際に成立すると証明できますか？
いいえ。簡略な推定であり、製造可能性の保証ではありません。