लिथोग्राफी रिज़ॉल्यूशन कैलकुलेटर
ऑप्टिकल मान और process factor देकर R = k1·λ/(NA·n) तथा DOF = k2·λ·n/NA² निकालें। यह सरल अनुमान है, manufacturing feasibility की गारंटी नहीं।
उपयोग कैसे करें
उपयोग कैसे करें
- तरंगदैर्ध्य, संख्यात्मक एपर्चर, अपवर्तनांक और k1 तथा k2 process factor दर्ज करें।
- अनुमानित रिज़ॉल्यूशन और depth of focus निकालें।
- सूत्र को केवल शैक्षिक अनुमान मानें और वास्तविक प्रक्रिया अलग से सत्यापित करें।
सूत्र
रिज़ॉल्यूशन R = k1·λ/(NA·n)। depth of focus DOF = k2·λ·n/NA²। तरंगदैर्ध्य और परिणाम में एक ही लंबाई इकाई रखें।
Process factor इनपुट हैं
k1 और k2 उपयोगकर्ता द्वारा दिए process factor हैं। मान प्रक्रिया और धारणाओं पर निर्भर हैं; कैलकुलेटर इन्हें चुनता या सत्यापित नहीं करता।
दायरा और सीमाएँ
यह सरल अंकगणितीय अनुमान है, manufacturing feasibility की गारंटी नहीं। यह पूरे scanner, resist, mask, illumination, focus control, overlay, defect, yield या safety process का मॉडल नहीं है।
अक्सर पूछे जाने वाले सवाल
आप यह भी जानना चाहेंगे
k1 और k2 क्या हैं?
ये दोनों सूत्रों में उपयोग होने वाले उपयोगकर्ता द्वारा दिए process factor हैं। अपनी दस्तावेज़ीकृत धारणाओं या process model के अनुसार मान दें।
क्या परिणाम प्रक्रिया की सफलता साबित करता है?
नहीं। यह सरल अनुमान है और manufacturing feasibility की गारंटी नहीं देता।