光刻分辨率计算器
输入光学参数和过程因子，计算 R = k1·λ/(NA·n) 与 DOF = k2·λ·n/NA²。本工具是简化估算，不保证制造可行性。
使用步骤
如何使用
- 输入波长、数值孔径、折射率以及过程因子 k1、k2。
- 计算估算的分辨率和焦深。
- 仅将公式作为教育性估算，并单独验证真实工艺。
公式
分辨率 R = k1·λ/(NA·n)。焦深 DOF = k2·λ·n/NA²。波长与结果使用相同长度单位。
过程因子由用户输入
k1 和 k2 是用户给定的过程因子，取值取决于工艺和假设；本工具不会替用户选择或验证它们。
范围与限制
这是简化的算术估算，不是制造可行性保证，也不模拟完整曝光机、光刻胶、掩模、照明、调焦、套刻、缺陷、良率或安全流程。
常见问题
你可能还想知道
k1 和 k2 是什么？
它们是代入两个公式的用户给定过程因子。请根据自己的文档化假设或工艺模型选择。
结果能证明工艺可行吗？
不能。结果是简化估算，不构成制造可行性保证。