리소그래피 해상도 계산기
광학 매개변수와 공정 계수를 입력해 R = k1·λ/(NA·n) 및 DOF = k2·λ·n/NA²를 계산하세요. 제조 가능성을 보장하지 않는 단순 추정입니다.
사용 방법
사용 방법
- 파장, 수치 개구, 굴절률, 공정 계수 k1과 k2를 입력합니다.
- 추정 해상도와 초점 심도를 계산합니다.
- 공식 기반 교육용 추정으로만 사용하고 실제 공정은 별도로 검증하세요.
공식
해상도 R = k1·λ/(NA·n). 초점 심도 DOF = k2·λ·n/NA². 파장과 결과에는 같은 길이 단위를 사용합니다.
공정 계수는 입력값
k1과 k2는 사용자가 제공하는 공정 계수입니다. 값은 공정과 가정에 따라 달라지며 계산기가 선택하거나 검증하지 않습니다.
범위와 한계
단순 산술 추정이며 제조 가능성을 보장하지 않습니다. 전체 노광기, 감광재, 마스크, 조명, 초점 제어, 오버레이, 결함, 수율 또는 안전 공정을 모델링하지 않습니다.
자주 묻는 질문
더 알아보기
k1과 k2는 무엇인가요?
두 공식에 사용하는 사용자가 제공한 공정 계수입니다. 문서화한 가정이나 공정 모델에 따라 입력하세요.
결과가 공정 성공을 증명하나요?
아니요. 단순 추정이며 제조 가능성을 보장하지 않습니다.